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线性驱动
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产品概述 product overview
全尺寸三维平移台是一款精密平移台，提供x，y，z三个方向的自由度，具有很高的可操作性。x/y方向采用光轴和微分头组合结构，z方向采用光轴和滚珠丝杆的组合结构。该产品作为模块化产品， 多个配置可供选择。
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规格说明 specification
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● 工作气压：10-11 mbar~1 bar |
● 烘烤温度：120℃ |
● 采用ss316材料焊接的波纹管 |
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● 通径：102mm |
● 上端安装法兰：cf法兰，通孔 |
● 下端安装法兰：cf法兰，螺纹孔 |
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● x/y驱动：步进电机（分辨率≤2μm，精度≤10μm） 微分头（分辨率5μm） |
● z驱动：步进电机（分辨率≤1μm，精度≤10μm） |
● 上下法兰距离（z零位）：300mm |
| a法兰直径 | b法兰直径 | xy行程 | z行程 | ||
| 毫米 | 英寸 | 毫米 | 英寸 |
毫米 |
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| 152 | 6 | 203 | 8 | ±12.5 | 可达650 |
产品尺寸 dimension drawing
视频 video
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